檢索結果：共4筆資料 檢索策略： "Angular Displacement".ekeyword (精準)
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本研究提出一套「雙自由度共路徑式散斑干涉儀」，此套系統以氦氖雷射(Laser)、偏振片(P)、電光調制器(EOM)、平行分束器(BD)、沃拉斯頓稜鏡(WP)、圓柱透鏡(CL)及光感測器(PD)等光學…
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本研究提出一套以「循環式光路」做為技術核心的新式雷射光學尺量測技術，用以進行精密位移及角位移量測。此套創新的「循環式雷射光學尺」導入了「薩格納克循環式光路」、「雙繞射式光路」及「多自由度光路」等設計…
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在線路圖案的定義過程，無論是使用什麼型態的曝光系統，對準量測技術皆為關鍵的製程步驟，在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率，進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中，發現使用數位…
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本研究提出一套「循環式線性光學尺(CLE)」，此套光學尺是由雷射二極體、光柵(G)、側向位移分光鏡(LBS)、偏極化分光鏡(PBS)、反射鏡(M)、偏振片(P)及IC光偵測器所組成，具光路架構簡單、…