檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "邱永傑".ccommittee (精準)
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近年來工業4.0逐漸應用於半導體領域,隨著GPU、CPU兩者的普及化使得深度學習爆炸性的成長,身為關鍵半導體製造基礎材料,矽晶圓切片製程參數對於減少後續研、拋成本,顯得格外重要,鑽石線鋸為目前矽晶圓…
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電動汽車、再生能源及快速充電等高功率元件的應用矽功率元件已無法滿足市場需求,因此單晶碳化矽 (SiC) 相較於單晶矽具有高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率等特性較適合用於高功率元件,然而單晶碳化矽具有…
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在現今半導體工業的製程中晶片的平坦化是必經的過程,而晶錠的切片技術是決定晶片平坦化質量的第一步。如今,固定鑽石線切割(DWS)被普遍應用於晶錠的切片製程。而鑽石線材的切割效率取決於晶錠的材料屬性、冷…