檢索結果：共6筆資料 檢索策略： "疊紋".ckeyword (精準)
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本文提出一套利用疊紋法量測藍寶石晶圓翹曲量的偵測技術，其系統架構簡單且架設容易。此系統由一發光二極管光源(LED)、一線性光柵片、一電荷耦合元件(CCD) 攝影機及數個光學元件所組成。藉由疊紋法的技…
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本研究提出一套「高解析度陰影疊紋式量測系統」，此套系統是由LED光源模組、大面積小週期的線性光柵、影像擷取模組及軟體相位解調模組所組成，其系統架構簡單、組裝及調校容易，具低成本的開發優勢。此套量測系…
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本研究提出一套創新的閃頻式晶圓翹曲量測技術，用以即時偵測有機金屬化學氣象沉積(MOCVD)製程中藍寶石晶圓之翹曲量及其輪廓。此套閃頻式晶圓翹曲量測技術以閃頻法、疊紋橫移理論、數位疊紋法、掃瞄輪廓法及…
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」，用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念，結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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本研究成功開發一套創新的全域式晶圓翹曲量測系統，用以即時偵測待測晶圓的翹曲值及其表面形貌。此套晶圓翹曲量測技術以「疊紋」為技術核心，結合光柵自成像效應、瞬時相移法及四步移相法等設計概念進行開發，使系…
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影像式自動化量測系統因具備非接觸式、高解析度的優點，近年來被廣泛應用於微小元件量測。然而現有影像式量測系統普遍受限於電腦影像資料處理運算速度，其量測範圍與實際應用亦因此大幅受限，為此本研究提出一套在…