檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "氣壓平衡".ckeyword (精準)
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隨著大尺寸面板的發展,對於玻璃基板升降系統成為一重要課題,因此本文針對7.5代玻璃基板升降系統進行結構分析,利用繪圖軟體SOLIDWORK建立升降系統數值模型,而後用有限元素軟體ANSYS10.0 …
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氣壓平衡式升降機台以馬達伺服定位進行垂直運動控制,並輔以氣壓缸提供之推力支撐負載平台,減輕馬達驅動負載所需耗用之功率。然而,固定氣壓之配重方式,無法適應負載之動態變化,致使馬達仍需負荷部分重力,影響…