檢索結果：共7筆資料 檢索策略： "林欽山".ccommittee (精準)
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本研究以數值模擬方式分析三維高溫石墨純化爐內部的熱傳問題，因為純化爐內部為高溫及低壓環境，因此以層流與不可壓縮流並使用漫射及灰體假設進行惰性氣體與石墨坩堝間的共軛質傳與熱傳模擬。純化爐內部流場可由連…
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隨著電子電力系統需求的規格逐年提升，碳化矽（Silicon Carbide, SiC）被視為未來高功率元件的理想材料，但因SiC本身的高硬度及高抗化學性，使其在化學機械拋光（Chemical Mec…
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單晶碳化矽基板(Silicon Carbide, SiC)，具有高崩潰電壓(High Breakdown Voltage)及低的阻抗, 因此在高功率元件市場的潛力無窮，但單晶碳化矽基板也因高硬度及高…
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多年以來太陽能矽基板為重要之替代能源，但矽基板加工效率和耗能問題一直是綠能產業無法普及因素之一，本研究首次提出傳統固定磨料(Diamond Wire Sawing, DWS)結合游離磨料(Slurr…
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單晶碳化矽晶圓在LED照明及高功率元件市場的潛力極大，目前單晶碳化矽晶圓的製造過程面臨許多挑戰，其最重要為碳化矽之高硬度及高抗化學性特性造成在化學機械拋光(Chemical Mechanical P…
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複線式鑽石線鋸(Multi-Wire Diamond Wire Sawing, MW-DWS)在目前晶圓切片製程中最具發展性，其中固定式磨料線鋸以鑽石線材進行往復式加工製程，因高效率的特點，在半…
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LED在人們日常生活中的影響性是與日俱增，而藍寶石晶圓(Sapphire Wafer)與GaN之晶格相匹配性佳，故在LED中常使用藍寶石晶圓為磊晶鍍膜的承載板，然而由於藍寶石晶圓優異的材料機械性質，…