檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "微電極陣列探針".ckeyword (精準)
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本研究利用半導體加工製程技術製備微電極陣列感測探針,製程的部分共分成為三個階段,第一階段為金屬圖案之定義,使金屬導線,封裝端與電極端的圖案成形。第二階段為探針導線區域絕緣,對整片晶圓沉積介電層後,運…
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本研究利用半導體微機械加工製程技術製備植入型微電極陣列感測探針,其中包含光罩設計與半導體加工製程兩大重點方向,在光罩設計方面,我們以繪圖軟體Auto CAD設計繪製光罩上元件圖樣,本製程包含三道光罩…