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    錫-銻系無鉛銲料與銀或銅基材間的相平衡及動力學的研究
    • 材料科學與工程系 /95/ 博士
    • 研究生: 林忠永 指導教授: 李嘉平
    • 本文研究以實驗觀察的方法來決定Sn-Sb-Ag 三元系統在400℃、260℃、150℃的等溫截面相圖,實驗結果顯示 Sn-Sb-Ag系統不存在三元化合物,有二個完全互溶的區域,其中一個為Ag3Sn及…
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    2

    以(hfac)CuI(COD)為先驅物之有機金屬化學氣相沉積銅膜的研究
    • 化學工程系 /97/ 博士
    • 研究生: 陳昭慶 指導教授: 李嘉平
    • 本研究以先驅物(hfac)CuI(COD)在不同的TaNx阻障層上,利用化學氣相沉積法(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)進行沉積銅晶種層(Seed l…
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    3

    二階段有機金屬化學氣相沉積銅晶種層及其在積體電路之銅製程上的應用
    • 化學工程系 /94/ 博士
    • 研究生: 李欣浤 指導教授: 李嘉平
    • 本研究主要提出一種新穎的二階段化學氣相沉積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition)成長銅晶種層(Seed layer)於氮化鉭(TaNx)阻障層薄膜的應用之…
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    • 全文公開日期 2006/10/08 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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