簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "對準誤差".ckeyword (精準)


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    基於子像素法辨識對準誤差標的
    • 自動化及控制研究所 /110/ 碩士
    • 研究生： 陳柏皇   指導教授： 郭鴻飛
    • 隨著科技近代之發展，為求在越加縮減面積的晶片上實現更強大的功能，除電路本身之微縮技術需逐步改進之外，將電路設計往立體化發展亦是新的發展思路。電路於立體化發展前，線路本身即已藉由大量的微影製程所構成，…
    • 點閱：160  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/09/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/26 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    基於光學卷積運算之對準誤差量測
    • 自動化及控制研究所 /109/ 碩士
    • 研究生： 李金陽   指導教授： 郭鴻飛
    • 積體電路的飛速發展有賴於其中的關鍵製程微影技術不斷提高的工藝水平，而對準誤差(Overlay)作爲微影製程的重要指標因素，成爲需要不斷精進的控制對象，同時也需要做到愈發追求極緻的精準量測。目前，基於…
    • 點閱：262  下載：0 
    • 全文公開日期 2024/09/09 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/09 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/09 (國家圖書館：臺灣博碩士論文系統)

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    應用於數位微影之莫爾條紋對位量測技術開發
    • 自動化及控制研究所 /108/ 碩士
    • 研究生： 蘇俊翰   指導教授： 郭鴻飛
    • 在線路圖案的定義過程，無論是使用什麼型態的曝光系統，對準量測技術皆為關鍵的製程步驟，在曝光之前能夠準確的將載台進行可以有效減少製程的重工率，進而降低製程成本。本實驗室在先前的研究過程中，發現使用數位…
    • 點閱：281  下載：16 
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