檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "吳乾埼".ccommittee (精準)
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」，用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念，結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統，用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…
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本論文是在探討製造和分析光學編碼器。使用了兩個飛秒雷射在Invar合金上製造最佳且精確的反射光柵。在兩種制度下用不同的雷射參數製作了幾個光柵：固定的重複率和固定的平均雷射功率。通過確定衍射點的功率來…