檢索結果:共5筆資料 檢索策略: "光學散射".ckeyword (精準)
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本研究目的在於利用化學氣相沉積以低溫製程下分別在玻璃、藍寶石、n型氮化鎵磊晶板以及p型氮化鎵磊晶板成長低電阻率且具有光學散射特性之粗糙表面摻鎵氧化鋅薄膜,以期望取代氧化銦錫作為藍光發光二極體之透明導…
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在半導體奈米量測自動化設備中,光學散射量測儀被視為取代傳統電子顯微鏡擷取微影圖案關鍵尺寸的重要技術,光學散射量測法的優點包含:量測速度快約為現有電子顯微鏡的三倍,可重複性量測同一微影圖案之關鍵尺寸,…
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本研究目的在於利用化學氣相沉積的程序變化模式,尋找在低溫下成長低電阻率且具有光學散射特性之粗糙表面氧化鋅鎵薄膜,最終目標在用來取代氧化銦錫當作為藍光發光二極體的透明導電接觸層。 考慮鎵源先驅…
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本研究乃針對藍光氮化鎵發光二極體元件的p型氮化鎵透明導電接觸層提出一取代材質及製程,考慮現在工業製程所使用的氧化銦錫薄膜中稀有元素銦的價昂,提案改使用同為透明導電氧化物的摻鎵氧化鋅來取代氧化銦錫。同…