檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="Littrow 式共面偵測"
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隨著工業技術快速發展的同時,對於高精度與高性能的精密位移量測技術需求與日俱增,眾多量測技術中又以雷射干涉儀最具發展潛力。本研究提出一套創新的雙頻共面偵測雙繞射式雷射干涉儀,此套干涉儀以「光柵」作為技…