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  • 檢索結果:共4筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="非晶矽"


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    1

    以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積法製備非晶矽薄膜太陽能電池元件之研究
    • 化學工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 周首成 指導教授: 洪儒生
    • 本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數反應壓力及三甲基硼(TMB)摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以探求非晶…
    • 點閱:448下載:1

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    以ProCAST模擬多晶矽薄膜橫向長晶製程之研究
    • 機械工程系 /93/ 碩士
    • 研究生: 郭烈欣 指導教授: 林其禹
    • 目前多晶矽薄膜橫向長晶製程參數研究,大多採用嘗試錯誤的方法,透過實驗室實際製程來對每一個參數進行操控,並以此來瞭解各個參數對長晶的影響。然而橫向長晶的影響參數眾多,因此這樣的方法耗力而且耗時。由於多…
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    以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積法製備非晶矽薄膜太陽能電池元件之研究
    • 化學工程系 /98/ 碩士
    • 研究生: 黃雅琴 指導教授: 洪儒生
    • 本研究係以射頻矽甲烷電漿輔助化學氣相沉積系統,藉由調配適當的反應參數如基材溫度、反應壓力及甲烷摻雜比等,分別進行本質非晶矽及p型非晶碳化矽薄膜之沉積,並針對薄膜的結構及光電性質加以分析,以設計出非晶…
    • 點閱:476下載:3

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    以電漿輔助化學氣相沈積法合成低介電係數膜及非晶矽薄膜之研究
    • 材料科學與工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 張鴻偉 指導教授: 洪儒生
    • 本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎,分為兩部分:第一部份為成長低介電係數薄膜,實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…
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