檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="電光調制"
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本研究提出一套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」,用以進行四自由度精密位移及旋轉角度量測。此套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」採獨特的自混分頻多工概念進行設計,僅需一組電光調制器及半穿半反射鏡即可形成…