檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="銅薄膜化學機械拋光"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究主要為設計雙向交錯式電極,研發新一代電致動力輔助化學平坦化(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Plolishing, EKF-CMP)系統,應…