檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="適應性滑動控制"
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本研究旨在發展一以無桿氣壓缸(XY軸)及非對稱型單桿氣壓缸(Z軸)結合壓電致動之XY-Z三軸長行程奈米精度伺服定位系統,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作進一步的精密補償,其中XY…
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隨著大尺寸面板的發展,對於玻璃基板升降系統成為一重要課題,因此本文針對7.5代玻璃基板升降系統進行結構分析,利用繪圖軟體SOLIDWORK建立升降系統數值模型,而後用有限元素軟體ANSYS10.0 …