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    水電漿鍵合製程對聚甲丙烯酸甲酯 (PMMA) 微流道裝置表面活化鍵合暨全血樣本檢測之研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 藍峻翰 指導教授: 黃崧任
    • 本研究以水電漿鍵合製程,對PMMA和Silicon進行表面改質技術使 (PMMA/Silicon/PMMA) 鍵合為一體,使用水電漿製程使(PMMA/Silicon/PMMA) 介面處形成Si–O–…
    • 點閱:418下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/13 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/09/13 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/09/13 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    大型高純度氧化鋁物件製程與其在NF3/Ar電漿蝕刻行為
    • 材料科學與工程系 /97/ 博士
    • 研究生: 林欽山 指導教授: 林舜天 洪儒生
    • 12吋半導體製程中之化學氣相沉積設備反應室內,所需之精密氧化鋁陶瓷,必須具備有高純度、能抵抗電漿環境中的侵蝕性氣體與300mm以上大尺寸物件的特性。所以,胚體成型的技術是一項重要課題,更需要鑽石工具…
    • 點閱:374下載:3
    • 全文公開日期 2013/12/23 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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