檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="矽薄膜"
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在微晶矽薄膜太陽能電池(microcrystalline silicon thin film solar cell, μc-Si)絕緣製程(isolation process)的研究範疇中,本研究探…
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中文摘要 本論文利用電漿輔助化學氣相沉積系統(PECVD) 沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的玻璃基板,並使用AFM、SEM觀察矽薄膜的表面形態受到不同形式(長鏈、短鏈、環狀)自…