檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="熱蒸氣硫化"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究探討利用化學氣相沉積系統於二氧化矽/矽基板上成長二硫化鉬薄膜並分析其光電特性實驗中。分別利用熱蒸氣沉積以及熱蒸氣硫化兩種成長方法製備二硫化鉬薄膜。熱蒸氣沉積製備方法為將三氧化鉬粉末與硫粉在高溫…