檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="熱氧化法"
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本實驗以熱氧化法成長出摻鈷的氧化鋅奈米線結構,以磁控濺鍍法先沉積純鋅膜與摻鈷的鋅薄膜兩種,實驗結果發現純鋅膜經熱氧化後會形成奈米針結構,而有摻雜鈷的鋅膜在熱氧化後會轉變為奈米線結構,其結構上受到摻雜…
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本實驗為利用射頻磁控濺鍍法沉積鋅薄膜,藉由調變射頻功率及靶材至基板的距離可控制鋅薄膜的結晶及表面型貌。實驗結果顯示多晶鋅薄膜在經450 ℃熱氧化可成長較多垂直於基板的氧化鋅奈米線,其平均長度約為4 …