檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="法布立\u002D佩羅干涉儀"
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本論文提出並架設一個基於光纖法布立-佩羅干涉儀的高解析度及靈敏度的位移感測器,其目的為利用法布立-佩羅干涉儀解決奈米等級的精確度量測。此干涉儀腔體由光纖平行校正器與移動的反射鏡面組成,特別設計高效率…