檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="氣壓\u002D壓電伺服XY\u002DZ三軸定位平台"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
本研究旨在發展一以無桿氣壓缸(XY軸)及非對稱型單桿氣壓缸(Z軸)結合壓電致動之XY-Z三軸長行程奈米精度伺服定位系統,大行程由氣壓伺服系統進行粗定位,小行程由壓電致動器作進一步的精密補償,其中XY…