檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="機台即時缺陷偵測分類系統"
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在半導體製造的生產流程上,即時的品質量測和檢測在管制及改善良率上扮演著日趨重要的角色,特別是在先進的12吋晶圓廠上。因此在製程上,晶片層級的量測方法和缺陷檢測是急待突破的兩塊領域。本文針對量測問題提…
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在半導體製造上需要對製程機台進行即時資料之趨勢監控外,需要更多能精確判斷製程與機台狀態的新製程偵測技術與方法,特別是在先進的12吋晶圓廠上。在半導體製程技術持續的微縮下,製程的飄移或缺陷通常不是單一…