檢索結果:共12筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="旋轉角"
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近年來,精密機械業對於能提供高精度的量測設備需求正逐年攀升,透過具備優異量測性能的量測設備對工具機台進行位移、旋轉角和幾何誤差量測與校正,以維持高製造精度。然而,大多數的量測設備無法同時提供多自由度…
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」,用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…
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本研究提出一套可用以進行五自由度位移及旋轉角度量測的「準共光程式散斑干涉儀」。此套「準共光程式散斑干涉儀」透過電光調制器來進行外差光源調制,用以降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響,同時亦能提高系…
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本研究提出一套創新的雙外差式散斑干涉儀,用以進行精密的位移及旋轉角度量測。此套干涉儀主要是以散斑干涉術做為主要的量測基礎,同時我們依據分頻多工的概念設計了一組「雙電光調制光路」來形成雙外差光源,即干…
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本研究提出一套創新的四自由度共路徑式線性光學尺,具備同時量測面內或面外的位移及旋轉角量測能力。此套線性光學尺結合干涉術、光柵干涉術、分光技術及共路徑式光路等技術優勢進行系統開發,具備高靈敏度、高穩定…
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本研究提出一套創新的弦波調制雙繞射光柵干涉儀,用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀是以弦波訊號來針對WP雙折射晶體進行訊號調制,達到外差訊號調制的目的,進而降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響…
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術,其系統架構簡單,架設與校正容易,可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心,輔以外差調制技術及自行設計…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺,用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發,使系統具…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統,用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…