檢索結果：共12筆資料 檢索策略： ckeyword.raw="旋轉角"
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…
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本研究提出一套可用以進行五自由度位移及旋轉角度量測的「準共光程式散斑干涉儀」。此套「準共光程式散斑干涉儀」透過電光調制器來進行外差光源調制，用以降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響，同時亦能提高系…
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本研究提出一套創新的雙外差式散斑干涉儀，用以進行精密的位移及旋轉角度量測。此套干涉儀主要是以散斑干涉術做為主要的量測基礎，同時我們依據分頻多工的概念設計了一組「雙電光調制光路」來形成雙外差光源，即干…
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近年來，精密機械業對於能提供高精度的量測設備需求正逐年攀升，透過具備優異量測性能的量測設備對工具機台進行位移、旋轉角和幾何誤差量測與校正，以維持高製造精度。然而，大多數的量測設備無法同時提供多自由度…
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本研究提出一套創新的六自由度聚焦式雷射光學尺量測技術，其系統架構簡單，架設與校正容易，可用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套量測技術的開發主要是以「光柵干涉術」為技術核心，輔以外差調制技術及自行設計…
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本研究提出一套以「雙繞射」為設計概念進行系統開發的雙繞射式雷射光學尺，用以進行位移及旋轉角量測。此套雙繞射式雷射光學尺系統整合外差干涉術、光柵干涉術、雙繞射光路及分光技術等設計概念進行開發，使系統具…
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本研究主要提出一套創新的Wollaston雷射光學尺量測系統，用以進行六自由度線性位移及旋轉角位移之精準量測。此套光學尺系統主要結合外差干涉術、光柵剪切干涉術、Wollaston prism共光程光…
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本研究提出一套以準共光程光路架構為設計概念的新式雷射干涉儀，用以進行六自由度位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差、光柵剪切、麥克森干涉術等技術，具備高解析度、高穩定度及六自由度(6-DOF)之量…
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近年來各類型的雷射干涉儀已被廣泛地應用在眾多的科學研究及工程領域中，藉由提供精準的位移或旋轉角度的量測資訊使定位系統或載具能維持高精度的定位性能，以期能準確完成製造程序、元件對位、幾何誤差量測與系統…
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本研究提出一套以「共面偵測」為技術核心進行系統開發的微型化干涉儀，用以進行精準的五自由度位移、旋轉角度及幾何誤差量測。因採共偵測面的光路設計，當待測光柵進行面外位移運動時，干涉儀系統仍可穩定地提供光…