檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="微機電"
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因微結構與靜電場的耦合(coupling)效應、靜電力的非線性、雜散電場(fringe field)、及微結構因殘留應力及應力梯度所產生的預變形(pre-deformation)等,使得靜電式元件的…
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本研究為結合光聚合反應(photopolymerization)以及電鍍(electroplating)之新型微金屬3D列印系統,利用投影機作為動態光罩固化光固化樹脂並阻隔部分金屬基材,而後使用電鍍…