檢索結果:共3筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="奈米雙晶銅圖案化晶圓"
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本研究旨透過整合電腦積層拋光墊形貌模型(Computed Additive Pad Topography, CAPT)建立軟式複合墊3D模型,並藉由3D模型模擬拋光墊Asperity特徵參數,參數包…
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本研究旨在利用馬達扭矩量測系統於拋光製程中監測機台的扭矩訊號變化,以確保圖案化晶圓能夠更準確地停止於製程終點,最後建立一套適用於矽導微孔化學機械拋光(Trench Silicon via chemi…
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本研究透過交錯式電極最佳化設計,以優化電致動力輔助化學機械平坦化製程(Electro-Kinetic Force Chemical Mechanical Planarization, EKF-CMP…