檢索結果：共5筆資料 檢索策略： ckeyword.raw="多晶矽"
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本論文藉由物理氣相沉積系統(PVD)沉積矽薄膜於自組裝單分子薄膜(SAM)改質後的石英基板，並利用固相結晶法(SPC)使非晶矽薄膜結晶為多晶矽薄膜，最後使用SEM觀察表面型態；Raman光譜、XRD…
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真空感應熔煉與控制凝固在生產多晶矽是新發展的製程方式，比起傳統的電阻加熱法，其主要優勢在於加熱速度快。而太陽能電池可分為以下三種類型-單晶矽、多晶矽與非晶矽。其中，多晶矽佔了太陽能市場的50%，原因…
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本研究探討準分子雷射結晶化矽厚膜可行性，並以此膜製作薄膜太陽能電池。研究發現，雷射退火矽膜之最高厚度為700 nm，並出現完全溶化之碟狀結晶(Disc grain)。利用SLS法後可再室溫下產生7 …
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目前多晶矽薄膜橫向長晶製程參數研究，大多採用嘗試錯誤的方法，透過實驗室實際製程來對每一個參數進行操控，並以此來瞭解各個參數對長晶的影響。然而橫向長晶的影響參數眾多，因此這樣的方法耗力而且耗時。由於多…
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本研究為使用鋁合金輔助電極於多晶矽工件進行線放電加工，並觀測使用輔助電極時，多晶矽之材料移除率、表面粗糙度、表面合金化之加工表面。實驗前先以焦耳熱模型計算加工時所需之放電能量，並控制操作參數於區間包…