檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="反應式濺鍍法"
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本研究分為兩個部分,第一部分為使用反應式濺鍍法(Reactive sputtering)沉積摻釩之類鑽碳薄膜(V-DLC),透過改變工作壓力調整V-DLC薄膜的表面形貌和結構,藉由SEM、R…