檢索結果:共4筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="化學機械研磨"
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本文主要研究發展一個CMP問題與決策的知識推論系統,用於八吋矽晶圓拋光、層間絕緣層、IC製程平坦化、金屬層和DRAM的拋光製程。系統採用本體論架構建構出相關的知識領域,再轉換成有用的工程資料庫,此資…
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本論文主要在研究一個以化學機械研磨終點檢測之專利創研機制,以輔助使用者在終點檢測達到專利新構想產生為目的。本研究分析110篇終點檢測專利,利用本體論概念建立化學機械研磨終點檢測之本體知識,再建立終點…
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本論文主要是探討如何利用TRIZ (Theory of Inventive Problem Solving)創造發明的理論,應用在晶圓(WAFER)生產過程中最重要的化學機械研磨(Chemical …
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本研究以人工智慧所提出之記憶學習法為基礎,進而提出以記憶學習法改善多層次代理人系統創研機制。並且以CMP及動力手工具為載具建構出多層次代理人系統工程知識庫及工程專利知識庫學習分類架構,透過學習分類架…