檢索結果:共3筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="共面偵測"
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本研究提出一套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」,用以進行四自由度精密位移及旋轉角度量測。此套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」採獨特的自混分頻多工概念進行設計,僅需一組電光調制器及半穿半反射鏡即可形成…
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本研究提出一套共面偵測分束器式光柵干涉儀,此套干涉儀採用「雙繞射式」的光路設計進行系統開發,透過光柵與反射鏡的搭配使通過光柵後的繞射光束再次穿過光柵形成二次繞射,用以引進加倍的的相位變化量,可有效提…
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本研究提出一套以「共面偵測」為技術核心進行系統開發的微型化干涉儀,用以進行精準的五自由度位移、旋轉角度及幾何誤差量測。因採共偵測面的光路設計,當待測光柵進行面外位移運動時,干涉儀系統仍可穩定地提供光…