檢索結果:共5筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="光柵干涉儀"
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本研究提出一套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」,用以進行四自由度精密位移及旋轉角度量測。此套「新式雙外差共面偵測光柵干涉儀」採獨特的自混分頻多工概念進行設計,僅需一組電光調制器及半穿半反射鏡即可形成…
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近年來,精密機械業對於能提供高精度的量測設備需求正逐年攀升,透過具備優異量測性能的量測設備對工具機台進行位移、旋轉角和幾何誤差量測與校正,以維持高製造精度。然而,大多數的量測設備無法同時提供多自由度…
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本研究提出一套以「共面偵測」為技術核心進行系統開發的微型化干涉儀,用以進行精準的五自由度位移、旋轉角度及幾何誤差量測。因採共偵測面的光路設計,當待測光柵進行面外位移運動時,干涉儀系統仍可穩定地提供光…
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本研究提出一套創新的多自由度再繞射式光柵干涉儀,用以同時量測五維度位移及旋轉角度變化量。此套系統是以光柵為技術核心進行開發,同時整合外差干涉術、光柵干涉術、再繞射光路及共面偵測技術等設計之優勢,使系…
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本研究提出一套創新的弦波調制雙繞射光柵干涉儀,用以進行精密位移及旋轉角量測。此套干涉儀是以弦波訊號來針對WP雙折射晶體進行訊號調制,達到外差訊號調制的目的,進而降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響…