檢索結果：共4筆資料 檢索策略： ckeyword.raw="五自由度"
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近年來，精密機械業對於能提供高精度的量測設備需求正逐年攀升，透過具備優異量測性能的量測設備對工具機台進行位移、旋轉角和幾何誤差量測與校正，以維持高製造精度。然而，大多數的量測設備無法同時提供多自由度…
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本研究提出一套以「多次繞射」為設計概念進行系統開發的「三繞射式雙光柵干涉儀」，用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套「三繞射式雙光柵干涉儀」具備外差干涉術、光柵干涉術、三繞射式光路及共面偵測式光路等技…
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本研究提出一套可用以進行五自由度位移及旋轉角度量測的「準共光程式散斑干涉儀」。此套「準共光程式散斑干涉儀」透過電光調制器來進行外差光源調制，用以降低環境低頻擾動對量測結果所造成的影響，同時亦能提高系…
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本研究提出一套創新的多自由度再繞射式光柵干涉儀，用以同時量測五維度位移及旋轉角度變化量。此套系統是以光柵為技術核心進行開發，同時整合外差干涉術、光柵干涉術、再繞射光路及共面偵測技術等設計之優勢，使系…