檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="T型奈米流道" and ckeyword.raw="偏移加工"
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本文應用加工固定切削深度之偏移加工法,進行單晶矽梯形凹槽之加工,其以每切削層在固定加工深度下進行一切削道次加工再向右偏移進行第二切削道次加工完成一偏移加工,如要擴充梯形凹槽的寬度,則可再向右偏移切削…