檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="PSG摻雜" and ckeyword.raw="酸鹼感測器"
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本論文探討分為兩部分,第一部分用微波電漿化學氣相系統(MPCVD)成長奈米鑽石薄膜,利用不同製程氣體比例(氬氣、氮氣、甲烷、氫氣)與氧電漿後處理改變薄膜品質;第二部分探討兩種製程之矽奈米線對pH靈敏…