檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="PID控制" and ckeyword.raw="電容式位移感測器"
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本研究旨在開發一閉迴路微/奈米定位系統,系統主要元件包含以有限元素分析設計之具位移放大機構之微/奈米定位平台、壓電致動器、電容式位移感測器系統、NI cRIO9074即時控制機盒與FPGA晶片、PC…