檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="薄膜" and ckeyword.raw="釔摻雜氧化鋯"
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本研究以磁控濺鍍技術,製作出30-100nm的YSZ薄膜於矽基板、MgO、LaAlO3、LiNbO3和不鏽鋼上。薄膜的型態則以SEM、AFM觀察,結構為柱狀晶且其表面緻密且無孔洞,從XRD、Rama…