檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="翹曲" and ckeyword.raw="表面形貌"
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本研究提出一套「高解析度陰影疊紋式量測系統」,此套系統是由LED光源模組、大面積小週期的線性光柵、影像擷取模組及軟體相位解調模組所組成,其系統架構簡單、組裝及調校容易,具低成本的開發優勢。此套量測系…
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本研究成功開發出一套「大尺寸陰影疊紋式量測技術」,並將其應用於12吋未拋光矽晶圓的表面形貌量測中。此套陰影疊紋式量測技術主要是由LED光源、線性光柵、晶圓定位模組、影像擷取模組及自行開發的影像分析模…