簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="翹曲" and ckeyword.raw="表面形貌"


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    高解析度陰影疊紋式晶圓翹曲及表面形貌量測技術之開發
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 林承緯 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究提出一套「高解析度陰影疊紋式量測系統」,此套系統是由LED光源模組、大面積小週期的線性光柵、影像擷取模組及軟體相位解調模組所組成,其系統架構簡單、組裝及調校容易,具低成本的開發優勢。此套量測系…
    • 點閱:372下載:0
    • 全文公開日期 2028/08/30 (校內網路)
    • 全文公開日期 2028/08/30 (校外網路)
    • 全文公開日期 2028/08/30 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    大尺寸陰影疊紋式量測技術之開發及於晶圓表面形貌量測之應用
    • 機械工程系 /112/ 碩士
    • 研究生: 賈皓文 指導教授: 謝宏麟 李朱育
    • 本研究成功開發出一套「大尺寸陰影疊紋式量測技術」,並將其應用於12吋未拋光矽晶圓的表面形貌量測中。此套陰影疊紋式量測技術主要是由LED光源、線性光柵、晶圓定位模組、影像擷取模組及自行開發的影像分析模…
    • 點閱:47下載:0
    • 全文公開日期 2029/08/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 2029/08/28 (校外網路)
    • 全文公開日期 2029/08/28 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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