檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="碳化矽" and ckeyword.raw="鈍化"
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本論文的主題分為四部分: (1)以SiH4、C2H2和H2為反應物的低壓化學氣相沉積系統探討Si(111)上碳化緩衝層表面的石墨化及其對成長3C-SiC(111)磊晶膜的影響之研究; (2)以SiH…