檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="矽膜重熔之凝固" and ckeyword.raw="矽膜重熔之凝固"
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準分子雷射常用於重熔矽膜,以製備低溫多晶矽,但由於製程窗口狹小而難以控制其複雜的結晶機制。大多數的製程參數設定,都是以試誤法來進行調整,然而在試誤的過程中,所耗費人力、時間及資源難以估計。若能以電腦…