檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="田口方法" and ckeyword.raw="電漿輔助化學氣相沉積"
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本論文研究有機發光二極體(Organic Light-Emitting Diode, OLED)薄膜封裝技術製程,在Si基材上以高密度電漿輔助化學氣相沉積PECVD法鍍上SiOx薄膜,研究製程參數(…