檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="濺鍍" and ckeyword.raw="磊晶"
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本論文以直流磁控式濺鍍法實現矽/鍺膜同/異質磊晶,成功地在矽基板上達成矽膜和鍺膜的同異質磊晶成長,以及在鍺基板上之鍺膜同質磊晶。最後並以濺鍍磊晶成長矽膜於矽基板上之方式形成n+-p接面二極體元件。論…