檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="有機金屬化學氣相沈積" and ckeyword.raw="銅"
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本研究之目的為合成CuII(OCHMeCH2NEt2)2先驅物,並且利用此先驅物以化學氣相沈積的方法成長銅薄膜,藉由調整沈積溫度及沈積時間,探討成長出高純度且具有良好之平坦度、緻密性、連續性及低電阻…