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摘要 氮化鉻薄膜具有高硬度、較佳耐磨耗性與抗腐蝕能力,因此已在 模具產業中廣泛被使用;而在氮化鉻薄膜中加入適量的銅元素又可以 有效提高薄膜之機械性質。本研究採用反應式雙極非對稱脈衝直流磁 控濺鍍法沉…