檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="技術功效矩陣" and ckeyword.raw="碳化矽晶圓"
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隨著電子電力系統需求的規格逐年提升,碳化矽(Silicon Carbide, SiC)被視為未來高功率元件的理想材料,但因SiC本身的高硬度及高抗化學性,使其在化學機械拋光(Chemical Mec…