檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="承壓比" and ckeyword.raw="藍寶石晶圓"
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自遠古時期的銅鏡、玉石、珠寶的研磨拋光到目前次奈米等級的半導體晶圓鏡面拋光,機械式拋光有其一定程度之極限,因此化學機械平坦化(Chemical Mechanical Planarization)是目…