檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="微晶矽" and ckeyword.raw="電漿輔助化學氣相沉積"
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本論文以平板式電漿輔助化學氣相沉積系統為基礎,分為兩部分:第一部份為成長低介電係數薄膜,實驗採用一矽烷偶合劑γ-glycidoxypropyl-trimethoxysilane(γ-GPS)及辛氟甲…