檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="微振量" and ckeyword.raw="微振量"
個人化服務 :
排序:
每頁筆數:
已勾選0筆資料
1
高科技廠房對於微振動量要求嚴格,需要極厚之樓版以減少垂直微振量,如此對於無塵室之貴重設備而言,將造成較大之破壞潛勢。再者由於台灣地區土地取得不易,因而發展出疊層式晶圓廠,形成多層軟層結構,因此如…