檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="影像處理" and ckeyword.raw="數位微影"
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在數位微影製程中,像差對半導體和微機電系統製造品質的影響至關重要, 因此,有效地校正由數位微影系統產生的畸變是提升製程良率的重大研究議題。 在本篇研究中,我們深入探討數位微影系統的畸變補償問題,並提…