檢索結果:共2筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="干涉儀" and ckeyword.raw="面內位移"
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本研究提出一套創新的雙自由度外差式雷射散斑干涉儀,此套干涉儀系統結合外差和散斑干涉術之優點,具備高的靈敏度和解析度及大量測範圍等量測性能。 此套雙自由度外差式雷射散斑干涉儀藉由光柵來實踐對稱式的光路…
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本研究提出一套創新的六自由度外差式散斑干涉儀,用以進行精密位移及旋轉角度量測。此套外差式散斑干涉儀系統結合外差干涉術、散斑干涉術、對稱式光路和分光技術等技術之優勢,具備高解析度、大量測範圍及六自由度…