檢索結果:共1筆資料 檢索策略: ckeyword.raw="差排缺陷" and ckeyword.raw="碳化矽"
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本論文針對碳化矽磊晶層中存在之缺陷進行表徵及生長機制的探討,並透過製作不同尺寸大小之蕭特基二極體,藉由元件電性量測後再對其進行缺陷的反向工程分析,微觀探討元件磊晶層中各種型態缺陷對元件特性之影響,並…